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2026

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白光干涉測量評估 LNG 深冷硬密封蝶閥平面度抗?jié)B漏特性

摘要LNG深冷硬密封蝶閥是液化天然氣儲存、輸送系統(tǒng)的核心密封部件，工作于-162℃深冷工況，其密封面平面度直接決定抗?jié)B漏特性，平面度偏差易引發(fā)LNG泄漏，危及生產(chǎn)...

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2026

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05

白光干涉測量表征微流控基底貼合面平面度及微米縫隙影響分析

摘要微流控芯片基底貼合面的平面度及微米級縫隙直接影響器件密封性能與流體操控精度，精準(zhǔn)表征二者特性是優(yōu)化封裝工藝的關(guān)鍵。白光干涉測量技術(shù)具有非接觸、納米級分辨率的優(yōu)...

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2026

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05

鏡筒定位面平面度對光學(xué)鏡片形變的白光干涉測量研究

摘要光學(xué)鏡筒定位面平面度直接影響鏡片裝配精度，易引發(fā)鏡片微觀形變，進而降低光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量。白光干涉測量技術(shù)憑借非接觸、納米級分辨率優(yōu)勢，可精準(zhǔn)表征定位面平面度與...

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2026

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05

基于白光干涉測量的微流控封裝平面度對芯片基底貼合性能研究

摘要微流控芯片作為生物醫(yī)學(xué)檢測、化學(xué)分析等領(lǐng)域的核心精密器件，其封裝平面度直接決定芯片基底貼合緊密性，進而影響流體流動特性與檢測精度。白光干涉測量技術(shù)憑借非接觸、...

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