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白光干涉儀，芯片金屬凸塊及Bump Pattern 3D輪廓...

摘要在先進芯片封裝與高密度互連制程不斷迭代的背景下，芯片金屬凸塊及Bump Pattern圖形化凸點結(jié)構(gòu)日趨微小化、陣列化與精細化。金屬凸塊與Bump Patte...

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煤粉/灰渣輸送閥密封面平面度的白光干涉測量研究

引言在煤化工、火力發(fā)電等工業(yè)領(lǐng)域，煤粉/灰渣輸送閥是保障物料密閉輸送的核心部件，其密封面平面度直接決定密封性能與設(shè)備運行穩(wěn)定性。煤粉、灰渣等介質(zhì)含硬質(zhì)顆粒，對密封...

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白光干涉測量在軍機液壓 / 燃油閥平面度精密檢測中的應用

引言軍機液壓/燃油閥是航空動力與操控系統(tǒng)的核心部件，其密封面平面度精度直接關(guān)系飛行安全與裝備可靠性。軍機服役環(huán)境嚴苛，高頻振動、高低溫交替及燃油雜質(zhì)沖蝕，易造成密...

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白光干涉測量解析鏡筒定位面平面度的像質(zhì)影響機理

摘要鏡筒定位面平面度偏差會通過鏡片裝配偏差誘發(fā)光學系統(tǒng)像質(zhì)劣化，明確其影響機理是提升光學系統(tǒng)性能的關(guān)鍵。白光干涉測量技術(shù)憑借非接觸、納米級精度優(yōu)勢，可精準表征定位...

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