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2026

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芯片刻蝕形貌 (Etching Morphology)表...

半導(dǎo)體精密微加工（Precision Micro Machining）干法刻蝕（Dry Etching）制程中，芯片刻蝕形貌（Etching Morphology...

芯片刻蝕形貌 (Etching Morphology)表面粗糙度失準(zhǔn)，白光干涉儀整改精密微加工 (Precision Micro Machining) 弊病

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2026

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半導(dǎo)體領(lǐng)域激光共聚焦拼接測量失真問題及替代方案

激光共聚焦顯微鏡（Laser Confocal Microscope, LCM）高倍物鏡單幀視場（Field of View, FOV）狹小，半導(dǎo)體大尺寸晶圓、封...

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冶金高溫?zé)煔?熱風(fēng)閥密封面平面度的光學(xué)輪廓測量研究

冶金熱風(fēng)閥（Metallurgical hot air valve）是高爐高溫?zé)煔庋h(huán)系統(tǒng)的核心密封構(gòu)件，其密封面平面度（sealing surface flat...

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2026

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骨植入體表面微觀缺陷過多白光干涉儀嚴(yán)控醫(yī)用安全品質(zhì)

骨植入體（Bone Implant）在拋光、蝕刻與精加工量產(chǎn)過程中，易產(chǎn)生凹坑、微劃痕、局部凸起及孔隙殘瑕等表面微觀缺陷（Micro Defect）。此類納米、微...

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