MEMS 懸臂梁振動模態、諧振頻率與形變，排查應力缺陷，對標仿真優化結構，提升傳感靈敏度，適配研發調校與量產質檢。

壓力傳感器感壓膜片的振動模態、固有頻率與形變分布，排查應力不均、工藝缺陷；實測數據對標仿真優化結構。

CMUT 振膜高頻振動模態、頻響檢測，排查缺陷；對標仿真優化結構，提升換能效率與帶寬；校準陣列單元一致性。

檢測梳齒式 MEMS 面內振動與頻響，獲取共振參數與振型，驗證驅動效率；實測對標仿真，優化結構提升線性度。