引言

軍機液壓/燃油閥是航空動力與操控系統(tǒng)的核心部件，其密封面平面度精度直接關(guān)系飛行安全與裝備可靠性。軍機服役環(huán)境嚴(yán)苛，高頻振動、高低溫交替及燃油雜質(zhì)沖蝕，易造成密封面平面度畸變，引發(fā)泄漏、閥件卡滯等故障。傳統(tǒng)接觸式測量易損傷精密密封面且精度不足，難以滿足軍機精密檢測需求，白光干涉測量憑借非接觸、高精度、高分辨率優(yōu)勢，成為該類部件平面度檢測的優(yōu)選技術(shù)，其應(yīng)用研究具有重要航空工程價值。

白光干涉測量原理

該技術(shù)基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為光源，光束經(jīng)分光鏡分為測量光與參考光，分別投射至軍機液壓/燃油閥密封面與標(biāo)準(zhǔn)參考鏡，反射光匯聚形成干涉條紋。通過采集不同位置干涉信號，可重構(gòu)密封面三維形貌，其垂直分辨率達(dá)亞納米級，能精準(zhǔn)捕捉微觀平面度缺陷，避免接觸式測量的二次損傷，高效獲取平面度特征參數(shù)，契合軍機精密檢測的嚴(yán)苛要求。

測量實驗設(shè)計與應(yīng)用實踐

實驗選取軍機液壓/燃油閥硬質(zhì)合金密封面為被測對象，采用高精度白光干涉測量系統(tǒng)開展精密檢測。嚴(yán)格遵循航空檢測標(biāo)準(zhǔn)，對密封面進(jìn)行精密清潔，去除燃油殘留與雜質(zhì)以避免信號干擾，調(diào)節(jié)系統(tǒng)掃描參數(shù)確保測量數(shù)據(jù)精準(zhǔn)。結(jié)果顯示，測量誤差控制在3nm以內(nèi)，可精準(zhǔn)識別沖蝕、磨損導(dǎo)致的平面度偏差，為軍機閥件生產(chǎn)檢測、在役維護(hù)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐，有效提升軍機裝備精密管控水平。

新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案

多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測量設(shè)備

單臺設(shè)備搞定全維度精密測量，一站式覆蓋微納級平面度、深孔臺階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測，高效適配各種硬密封零部件測量需求。

四大核心技術(shù)革新，突破行業(yè)測量瓶頸

一鍵自動掃描：徹底破解傳統(tǒng)光學(xué)測量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業(yè)痛點，全面兼容平面度、臺階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測量需求，適配噴油嘴核心部位檢測。

（實測噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）

多臺階面平行度測量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測量，無法實現(xiàn)多臺階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺階測量能力，重復(fù)精度滿足5nm再現(xiàn)性。

自動化批量測量模式：單幅視野可達(dá)23×18mm，支持最大200mm視野全自動跑點測量，大幅提升批量檢測效率；針對更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專屬非標(biāo)解決方案，靈活適配不同生產(chǎn)場景。

深錐孔角度精準(zhǔn)測量：打破傳統(tǒng)面型測量儀功能單一的局限，在保障微納級平面度測量精度的基礎(chǔ)上，同步實現(xiàn)陡峭錐面、深錐孔角度的精準(zhǔn)檢測，適用場景更廣泛，檢測能力更全面。

上下平面平行度專屬檢測：采用獨特光路設(shè)計，可實現(xiàn)非/透明產(chǎn)品的厚度與上下平面平行度同步測量，無需額外設(shè)備，簡化檢測流程，提升檢測效率。

新啟航半導(dǎo)體——專業(yè)綜合光學(xué)3D測量解決方案提供商，以核心技術(shù)賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測提供高效、精準(zhǔn)、便捷的全流程服務(wù)！