引言
微型投影、車載顯示與精密成像模組工作過程中，投影光斑分布不均、局部暗斑頻發(fā)、畫面成像噪點(diǎn)過多，是影響視覺呈現(xiàn)效果與光學(xué)產(chǎn)品良率的核心共性問題。此類成像故障大多并非光源本身故障所致，核心根源在于微透鏡、照明光學(xué)鏡片等核心元件表面面形精度不達(dá)標(biāo)，存在微觀波紋、局部曲率畸變、表面粗糙度超標(biāo)及鍍膜微觀瑕疵等缺陷。傳統(tǒng)光學(xué)照度檢測(cè)、肉眼目視篩查等常規(guī)檢測(cè)手段，僅能觀測(cè)成像表面直觀不良現(xiàn)象，無法溯源光學(xué)元件微觀面形根本誘因，難以精準(zhǔn)定位瑕疵點(diǎn)位與畸變數(shù)值，無法為光學(xué)調(diào)校和鏡片加工整改提供有效數(shù)據(jù)支撐，亟需高精度非接觸式面形檢測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)缺陷根源精準(zhǔn)管控。
白光干涉面形測(cè)量核心檢測(cè)原理
白光干涉面形測(cè)量技術(shù)依托白光短相干干涉核心特性，結(jié)合顯微垂直掃描架構(gòu)與高精度相位解算算法，聚焦投影光學(xué)核心元件全域微觀面形開展無損精密測(cè)量。區(qū)別于常規(guī)光學(xué)檢測(cè)方式，該技術(shù)相干長(zhǎng)度短、無相位纏繞干擾，可精準(zhǔn)捕捉光學(xué)鏡片表面納米級(jí)微觀凹凸、面形畸變與粗糙度細(xì)微差異。檢測(cè)時(shí)通過納米級(jí)壓電掃描機(jī)構(gòu)精準(zhǔn)調(diào)控光程差，實(shí)時(shí)采集全域干涉條紋圖譜，經(jīng)系統(tǒng)算法重構(gòu)元件三維真實(shí)面形數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)量化面形PV值、RMS粗糙度、局部曲率偏差等核心指標(biāo)。通過實(shí)測(cè)面形參數(shù)與光學(xué)仿真模型對(duì)標(biāo)，精準(zhǔn)關(guān)聯(lián)元件面形畸變與投影光斑不均、暗斑及畫面噪點(diǎn)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，厘清成像不良與光學(xué)元件面形缺陷的內(nèi)在耦合規(guī)律，實(shí)現(xiàn)成像問題溯源與面形參數(shù)同步檢測(cè)。
測(cè)量方案應(yīng)用價(jià)值與實(shí)操管控作用
白光干涉面形測(cè)量全程采用非接觸式檢測(cè)模式，不會(huì)損傷光學(xué)元件鍍膜與精密工作面，測(cè)量精度可達(dá)納米級(jí)別，檢測(cè)數(shù)據(jù)重復(fù)性好、抗干擾能力強(qiáng)。該方案既可用于研發(fā)階段光學(xué)元件面形參數(shù)精準(zhǔn)標(biāo)定，優(yōu)化光學(xué)光路匹配設(shè)計(jì)，也適配量產(chǎn)環(huán)節(jié)零部件全檢與不良品快速分選，快速篩除面形不達(dá)標(biāo)工件，精準(zhǔn)定位加工制程工藝短板，針對(duì)性修正鏡片模壓、拋光與鍍膜工序參數(shù)，從源頭遏制投影成像各類不良問題，穩(wěn)定投影顯示光學(xué)品質(zhì)。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案
大視野3D白光干涉儀——光學(xué)鏡片納米級(jí)測(cè)量解決方案
大視野3D白光干涉儀，聚焦光學(xué)鏡片精密測(cè)量，打造納米級(jí)測(cè)量全域解決方案，突破傳統(tǒng)測(cè)量局限，定義光學(xué)鏡片檢測(cè)新范式，以高效、精準(zhǔn)的測(cè)量能力，適配光學(xué)鏡片全流程檢測(cè)需求。
設(shè)備憑借核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級(jí)全場(chǎng)景測(cè)量，重新詮釋精密測(cè)量的高效與精準(zhǔn)，助力光學(xué)鏡片生產(chǎn)、加工環(huán)節(jié)的質(zhì)量管控，保障鏡片性能達(dá)標(biāo)。
核心優(yōu)勢(shì)：大視野+高精度，突破行業(yè)局限
打破行業(yè)常規(guī)壁壘，解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡僅能單孔使用、需兩臺(tái)儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野與高精度測(cè)量的痛點(diǎn)。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野，搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪，一臺(tái)設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度，完美適配光學(xué)鏡片復(fù)雜測(cè)量場(chǎng)景。
光學(xué)鏡片實(shí)測(cè)應(yīng)用圖示
（圖示為光學(xué)鏡片關(guān)鍵指標(biāo)：含平面度誤差、PV值、RMS值，精準(zhǔn)把控鏡片平面精度，保障鏡片光學(xué)性能）
（圖示為表面粗糙度：精度達(dá)6pm=0.006nm，精準(zhǔn)表征鏡片表面光滑度，適配高精度光學(xué)鏡片檢測(cè)需求）
（圖示為實(shí)測(cè)涂層厚度：75.2nm，精準(zhǔn)測(cè)量光學(xué)鏡片涂層厚度，助力涂層工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控）
（圖示為 涂層表面質(zhì)量3D形貌圖，清晰呈現(xiàn)涂層表面狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂層缺陷）
特色測(cè)量功能：上下平面平行度測(cè)量
設(shè)備采用獨(dú)特光路設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非透明產(chǎn)品的厚度和平面平行度測(cè)量，適配多層玻璃等光學(xué)部件的測(cè)量需求，進(jìn)一步拓展光學(xué)測(cè)量場(chǎng)景。
（圖示為多層玻璃厚度測(cè)量，精準(zhǔn)獲取多層玻璃厚度數(shù)據(jù)，保障光學(xué)組件裝配精度）
睿克光學(xué)——專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量解決方案，深耕光學(xué)鏡片檢測(cè)領(lǐng)域，助力光學(xué)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！