白光干涉儀（White Light Interferometer，WLI）依托短相干光學(xué)原理，在微納形貌表征領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)亞納米垂直測(cè)量能力。行業(yè)評(píng)價(jià)體系常過(guò)度聚焦單點(diǎn)極限精度指標(biāo)，而忽略取樣范圍的代表性，易形成以局部微區(qū)數(shù)據(jù)代替工件全域表面狀態(tài)的評(píng)價(jià)偏差，與ISO?25178、ISO?4287表面形貌取樣評(píng)定規(guī)范存在沖突。
小視場(chǎng)高倍物鏡雖可輸出Sa、Ra、PV等精細(xì)形貌參數(shù)，但取樣面積受限。采用圖像拼接（Image Stitching）拓展測(cè)量范圍時(shí)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)機(jī)械誤差（Mechanical Error）會(huì)引入形貌錯(cuò)位、畸變偽像，降低測(cè)量重復(fù)性（Repeatability），難以滿足大面積樣品的全域統(tǒng)計(jì)表征需求。
大視場(chǎng)（Large Field-of-View）協(xié)同測(cè)量，指在保留有效測(cè)量精度前提下，單幀獲取更大物方區(qū)域形貌，實(shí)現(xiàn)宏觀面形與微觀粗糙度信息同步采集。該方案適配MEMS器件、鈣鈦礦薄膜、高頻覆銅板（CCL）、光學(xué)鏡片與半導(dǎo)體載板檢測(cè)場(chǎng)景，可識(shí)別區(qū)域間形貌不均勻性，獲取具備統(tǒng)計(jì)代表性的數(shù)據(jù)集，支撐工藝缺陷溯源與制程穩(wěn)定性評(píng)估。
大視場(chǎng)協(xié)同測(cè)量并非舍棄精度，而是建立“全域形貌+局部高精度”的協(xié)同表征框架，兼顧工程質(zhì)控與科研評(píng)價(jià)邏輯。相較于單純追求單點(diǎn)極限精度，該模式更符合精密制造表面評(píng)價(jià)的科學(xué)本質(zhì)，為大面積微納構(gòu)件的工藝迭代提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
大視場(chǎng)3D白光干涉儀核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)
大視場(chǎng)3D白光干涉儀（WLI）適配半導(dǎo)體、精密光學(xué)、高端精密加工等高精度檢測(cè)場(chǎng)景，彌補(bǔ)傳統(tǒng)干涉儀視場(chǎng)狹小、低倍倍率缺失的行業(yè)短板，兼具大視野觀測(cè)能力與納米級(jí)測(cè)量精度，可一站式完成工件形貌表征、尺寸檢測(cè)與微觀缺陷分析，完全契合工業(yè)質(zhì)控與科研精密測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。
3、1 大視場(chǎng)與高精度一體化測(cè)量
設(shè)備搭載專屬0、6×大視場(chǎng)輕量化物鏡，打破傳統(tǒng)干涉儀1×倍率起步的局限，官方標(biāo)定最大成像視場(chǎng)可達(dá)15、5mm。依托一體化電動(dòng)轉(zhuǎn)塔設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)宏觀形貌觀測(cè)與納米級(jí)微觀精密測(cè)量無(wú)縫切換，無(wú)需更換設(shè)備與鏡頭，有效提升批量檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)一致性，適配半導(dǎo)體芯片、超精密光學(xué)部件的高精度檢測(cè)需求。
設(shè)備可穩(wěn)定完成14mm端面平面度精準(zhǔn)檢測(cè)，精準(zhǔn)把控精密部件平面精度；具備0、006nm超精密粗糙度檢測(cè)能力，可精準(zhǔn)檢測(cè)工件Ra、Rz等核心粗糙度指標(biāo)，滿足超精密器件嚴(yán)苛的微米、納米級(jí)測(cè)量要求。
（鏡頭光路是按理想球面 / 非球面計(jì)算的，PV/RMS 超標(biāo)，實(shí)際光路偏離設(shè)計(jì)值，焦距、視場(chǎng)、分辨率等參數(shù)全部失效，整組鏡頭無(wú)法達(dá)標(biāo)）
（4寸 CMP 金剛石研磨碟盤的顆粒共面度（金剛石出露高度一致性），直接決定 CMP 拋光墊修整均勻性、晶圓良率與碟盤壽命）
(平面度超標(biāo)：端面存在翹曲、凹凸，壓緊后出現(xiàn)微小縫隙，高壓燃油滲漏。輕則燃油泄漏、油耗上升，重則滲漏油積碳、部件銹蝕，甚至高壓油噴射引發(fā)安全隱患)
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測(cè)量方案。亞納米精度保障，支持自動(dòng)化定制；高端系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對(duì)高低反射、復(fù)雜材料測(cè)量場(chǎng)景。
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