多層印制板(Multi-layer PCB)壓合工序,依托半固化片(Prepreg, PP)樹脂熔融浸潤內層銅面,通過機械錨定效應達成層間結合效果。銅面制程(Copper Surface Process)的表面粗糙度是決定壓合分層、爆板不良的核心指標,直接制約PCB量產品質。粗糙度不足會削弱樹脂咬合固定能力,粗糙度超標則會加劇高頻信號損耗,引發樹脂填充不均問題,熱壓固化后易產生界面微缺陷。因此,建立標準化、常態化的銅面粗糙度檢測機制,是多層PCB品質管控的核心環節。
覆銅板(Copper Clad Laminate, CCL)經棕化、微蝕等粗化工藝處理后,行業傳統檢測多采用接觸式輪廓儀量化微觀形貌。該設備易劃傷軟質銅箔,且采樣范圍有限,無法完整反饋板面全域形貌狀態。白光干涉儀(White Light Interferometer, WLI)為非接觸式三維光學檢測設備,基于寬光譜干涉原理,可無損采集銅面三維輪廓數據,精準輸出輪廓算術平均偏差(Ra)、微觀不平度十點高度(Rz)等核心粗糙度參數,垂直分辨率達亞納米級別,可全面適配量產來料抽檢、制程巡檢、壓合后品質復盤等全流程監測場景。
在多層PCB量產質控體系中,通過白光干涉儀搭建標準化粗糙度管控窗口,可實時監測銅面粗化工藝波動,精準微調微蝕、棕化藥液濃度及工藝處理時間,從源頭規避批量壓合不良問題。穩定可控的銅面粗糙度,能保障壓合階段熔融樹脂均勻填充銅面微觀凹凸結構,固化后形成穩定的層間剝離強度,有效降低回流焊高溫環境下的層間分層失效風險,同步兼顧多層板結構可靠性與高速信號完整性,是目前PCB制造領域銅面形貌精準質控的主流解決方案。
大視野3D白光干涉儀可實現全量程表面粗糙度(Surface Roughness)一體化測量,測量范圍覆蓋超光滑表面(Ra 0.03 nm)至高粗糙度增材制造表面(Additive Manufacturing Surface, Ra 14.7 μm),完成全域形貌表征(Global Characterization),突破傳統檢測設備的性能局限,構建精密測量(Precision Measurement)新范式,廣泛適配半導體(Semiconductor)、精密制造(Precision Manufacturing)、增材制造等多領域嚴苛檢測場景。
設備依托自主核心創新技術,解鎖納米級(Nanoscale)全場景精準測量能力,兼具檢測高效性與數據精密性,可適配不同粗糙度等級的樣品檢測需求,重構工業精密測量(Industrial Precision Measurement)高效、精準的行業標準,為各類精密零部件品質管控提供權威、可溯源的數據支撐。

核心優勢:大視野+高精度,打破行業技術壁壘
傳統檢測設備存在明顯技術短板,1倍以下物鏡(Objective Lens)僅支持單場景使用,行業需配備兩臺設備才能分別完成大視野觀測與高精度測量,檢測成本高、流程繁瑣。本設備搭載全新0.6倍輕量化專用鏡頭,擁有15mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),配套可兼容4個物鏡的轉塔鼻輪(Turret Nose Wheel),單臺設備即可兼顧大視野全域觀測與高精度微觀測量,適配超光滑、高粗糙等各類復雜樣品檢測場景,無需頻繁切換設備,顯著提升檢測效率(Inspection Efficiency)與數據精準度(Data Accuracy)。
全域粗糙度實測案例圖示及說明(工業及半導體專屬)

本次實測超光滑表面,檢測精度可達6pm(0.006nm),完全滿足半導體芯片(Semiconductor Chip)、超精密器件(Ultra-Precision Components)的超高精度表面粗糙度檢測要求,可有效保障精密器件長期運行穩定性。

本次實測晶圓背面表面,粗糙度Ra為0.9μm,適配半導體晶圓(Semiconductor Wafer)標準化表面檢測場景,可精準把控晶圓加工精度(Wafer Processing Accuracy),為后續封裝、貼合等工藝提供可靠品質基礎。

本次實測磨砂玻璃表面,粗糙度Ra為6.05μm,可精準量化非金屬材料(Non-Metallic Materials)表面粗糙程度,適配光學部件、電子器件外殼等多行業檢測需求。
本次實測3D增材打印產品表面,粗糙度Ra可達14.7μm,可精準捕捉增材表面微觀粗糙紋理(Rough Texture),為增材制造(Additive Manufacturing)工藝優化、參數調試及產品質量管控(Quality Control)提供核心數據支撐。

大視野3D白光干涉儀突破傳統測量設備性能局限,重塑精密測量(Precision Measurement)行業范式。依托納米級(Nanoscale)全場景測量核心能力,以高效、精準的檢測優勢,升級工業測量(Industrial Measurement)質控標準,為半導體、光學器件、精密零部件制造等領域提供全套技術支撐,適配各行業嚴苛的精密測量需求。

四大核心技術革新(工業級標準,適配半導體場景)
一、大視野+高精度,打破行業常規
突破傳統設備場景適配局限,1倍以下物鏡(Objective Lens)可實現多工況兼容,無需拆分設備即可同步完成大視野觀測與高精度測量(High-Precision Measurement)。設備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭,具備15.5mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),搭配四物鏡兼容轉塔設計(Turret Design),單設備覆蓋全場景檢測需求,無需頻繁切換鏡頭及設備,大幅優化檢測流程,提升工業檢測效率(Inspection Efficiency)與數據精準度(Data Accuracy)。

核心技術支撐(適配全域粗糙度檢測)
全域量程適配:測量范圍覆蓋Ra 0.03 nm~Ra 14.7 μm全區間粗糙度,兼容超光滑半導體器件、高粗糙增材零部件等各類樣品,單設備可完成多品類檢測,無需更換檢測設備。
納米級解析能力:最低可解析6pm(0.006nm)超微觀形貌變化,滿足半導體晶圓、芯片引腳等超精密部件檢測標準,檢測數據完全符合ISO 4287/ISO 4288國際標準(International Standard),數據可溯源、可對標。
高效檢測設計:依托15mm超大單幅視野與多物鏡轉塔結構,簡化檢測操作流程,縮短單樣品檢測周期,有效提升工業質檢(Industrial Quality Inspection)整體效率,降低人力成本(Labor Cost)與設備運維成本。
多場景兼容特性:適配金屬、非金屬、半導體、增材制品等多種材質,可完成平面、曲面等異形工件的粗糙度檢測,設備通用性(Versatility)極強,適配多行業生產線質控需求。
新啟航半導體|專業白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障,支持自動化定制;高端系列對標國際一線品牌,大視野設計,輕松應對高低反射、復雜材料測量場景。
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