微透鏡陣列（Microlens Array, MLA）是光電成像、光場傳感、精密光刻領(lǐng)域核心微納光學元件，其基底平整度（Flatness）與單元高度一致性（Height Consistency）直接決定光學耦合精度與成像質(zhì)量，是工業(yè)化量產(chǎn)制程的核心質(zhì)量控制指標。傳統(tǒng)接觸式測量易損傷微納結(jié)構(gòu)，單點掃描檢測效率低、無法完成全域形貌表征，難以適配高端精密光學元件的工業(yè)化檢測需求。
本文采用白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI），基于低相干干涉原理實現(xiàn)微透鏡陣列全域非接觸精密測量。設(shè)備以寬光譜白光為光源，經(jīng)分光系統(tǒng)拆分出參考光與測量光，僅在零光程差（Zero Optical Path Difference, ZOPD）位置生成高對比度干涉條紋；依托壓電陶瓷（PZT）納米級垂直掃描技術(shù)與相位解包裹算法，全域采集各像素點三維形貌數(shù)據(jù)，精準解析元件表面高度分布特征。
該設(shè)備核心測量參數(shù)可溯源行業(yè)公開實測數(shù)據(jù)：垂直分辨率0.1 nm，橫向分辨率1 μm，測量重復(fù)性誤差＜0.5%，可精準捕捉微透鏡陣列納米級表面細微起伏。通過全域數(shù)據(jù)擬合計算基底平面度誤差，統(tǒng)計各微透鏡單元頂點高度偏差，可量化陣列高度一致性核心參數(shù)。相較于共聚焦顯微測量方式，白光干涉儀可實現(xiàn)大面積全域無盲區(qū)快速成像，適配微透鏡陣列規(guī)模化成品檢測與制程誤差溯源，是微納光學元件形貌精密測量的可靠技術(shù)方案。
同時可適配DOE衍射光學元件（Diffractive Optical Element）異形結(jié)構(gòu)精密檢測。
（圖示為DOE衍射光學元件結(jié)構(gòu)圖，清晰呈現(xiàn)元件微觀結(jié)構(gòu)（Microscopic Structure），助力衍射光學元件質(zhì)量管控（Quality Control），保障半導(dǎo)體光學系統(tǒng)成像精度）
（圖示為實測微透鏡效果圖，精準還原微透鏡形貌（Morphology），為微透鏡加工精度（Processing Accuracy）檢測提供可靠依據(jù)，適配半導(dǎo)體微透鏡陣列檢測）
大視野3D白光干涉儀——工業(yè)/半導(dǎo)體專用微透鏡納米級測量解決方案
該設(shè)備突破傳統(tǒng)測量技術(shù)局限，重構(gòu)微透鏡（Microlens）及光學元件（Optical Components）精密檢測范式。依托核心創(chuàng)新技術(shù)實現(xiàn)納米級（Nanoscale）全域測量，憑借高效、高精度的核心優(yōu)勢，覆蓋微透鏡、衍射光學元件等各類光學部件檢測場景，重塑工業(yè)精密測量（Industrial Precision Measurement）標準，為半導(dǎo)體光學、精密光學領(lǐng)域提供權(quán)威、可溯源的數(shù)據(jù)支撐。
一、核心優(yōu)勢：大視野+高精度，打破行業(yè)技術(shù)壁壘
針對傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡（Objective Lens）僅支持單孔測量、需兩臺設(shè)備分別實現(xiàn)大視野觀測與高精度測量的行業(yè)痛點，設(shè)備搭載0.6倍輕量化專用鏡頭，配置15mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4組物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪（Turret Nose Wheel）。單設(shè)備可一站式覆蓋大視野觀測、納米級高精度測量雙重需求，無需頻繁切換檢測設(shè)備，顯著提升檢測效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準度（Data Accuracy），適配半導(dǎo)體光學器件量產(chǎn)檢測及復(fù)雜光學樣品精密測量場景。
二、核心測量能力及實測應(yīng)用圖示說明
（圖示為實測光學元件關(guān)鍵指標：含平面度誤差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），精準把控光學元件平面精度，為微透鏡等部件的光學性能（Optical Performance）保障提供可靠支撐，適配半導(dǎo)體微透鏡檢測需求）
（圖示為實測表面粗糙度（Surface Roughness, Ra），檢測精度可達6pm（0.006nm），精準表征微透鏡表面光滑度，滿足高精度光學部件、半導(dǎo)體光學窗口片檢測需求，有效規(guī)避表面粗糙引發(fā)的光學損耗問題）
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障，支持自動化定制；高端系列對標國際一線品牌，大視野設(shè)計，輕松應(yīng)對高低反射、復(fù)雜材料測量場景。
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