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盤(pán)片熱處理形變導(dǎo)致平面度超標(biāo)（Flatness Overli...

機(jī)械硬盤(pán)（Hard Disk Drive, HDD）超薄精密金屬盤(pán)片的熱處理（Heat Treatment）工序，用于釋放基材殘余應(yīng)力、穩(wěn)定盤(pán)面形貌精度，是硬盤(pán)精...

盤(pán)片熱處理形變導(dǎo)致平面度超標(biāo)（Flatness Overlimit），光學(xué)輪廓儀鎖定機(jī)械硬盤(pán)熱加工工藝異常

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白光干涉儀（White Light Interferomet...

摘要超薄薄膜（Ultra?thin Film）是半導(dǎo)體晶圓（Wafer）、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件、鈣鈦礦光電器件的核心功能性薄膜材料。其磁控濺射（Magnet...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）全域成像技術(shù)對(duì)超薄薄膜（Ultra-thin Film）批量制備工藝異常的識(shí)別與分析

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光學(xué)輪廓儀采集機(jī)械硬盤(pán)結(jié)合面平面度數(shù)據(jù)（Joint Surf...

機(jī)械硬盤(pán)（Hard Disk Drive, HDD）殼體結(jié)合面密封適配精度，直接決定設(shè)備防塵、防漏氣性能，是保障硬盤(pán)存儲(chǔ)運(yùn)行穩(wěn)定的核心工藝指標(biāo)，結(jié)合面平面度（Fl...

光學(xué)輪廓儀采集機(jī)械硬盤(pán)結(jié)合面平面度數(shù)據(jù)（Joint Surface Flatness Data），精準(zhǔn)研判密封適配工藝異常

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超薄薄膜（Ultra-thin Film）工藝畸變與微觀缺陷...

超薄薄膜（Ultra-thin Film）廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓（Wafer）、鈣鈦礦光伏、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等核心工業(yè)領(lǐng)域。薄膜經(jīng)濺射（Sputtering）...

超薄薄膜（Ultra-thin Film）工藝畸變與微觀缺陷檢測(cè)，基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征方法

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