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                1. 新啟航半導體有限公司


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                  光學輪廓測量在冶金高溫熱風閥平面度檢測中的應用
                  冶金高溫熱風閥(Metallurgical high-temperature hot air valve)是高爐熱風循環系統關鍵密封設備,其密封面平面度(seal...
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                  激光共聚焦顯微鏡(Laser Confocal Microscope, LCM)高倍物鏡單幀視場(Field of View, FOV)狹小,半導體大尺寸晶圓、封...
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                  冶金高溫煙氣/熱風閥密封面平面度的光學輪廓測量研究
                  冶金熱風閥(Metallurgical hot air valve)是高爐高溫煙氣循環系統的核心密封構件,其密封面平面度(sealing surface flat...
                  冶金高溫煙氣/熱風閥密封面平面度的光學輪廓測量研究
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