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白光干涉測量鏡筒定位面平面度的光軸精度影響分析

摘要鏡筒定位面平面度是決定光學系統光軸精度的核心因素，平面度偏差易導致光軸偏移、傾斜，進而影響光學系統成像穩定性。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度優勢，可精...

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基于白光干涉測量的鏡筒定位面平面度管控要點

摘要鏡筒定位面平面度是保障光學系統光軸精度與成像質量的核心指標，精準管控其平面度是光學器件裝配的關鍵環節。白光干涉測量技術憑借非接觸、納米級精度的優勢，為平面度管...

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白光干涉測量評估 LNG 深冷硬密封蝶閥平面度抗滲漏特性

摘要LNG深冷硬密封蝶閥是液化天然氣儲存、輸送系統的核心密封部件，工作于-162℃深冷工況，其密封面平面度直接決定抗滲漏特性，平面度偏差易引發LNG泄漏，危及生產...

白光干涉測量評估 LNG 深冷硬密封蝶閥平面度抗滲漏特性

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白光干涉測量表征微流控基底貼合面平面度及微米縫隙影響分析

摘要微流控芯片基底貼合面的平面度及微米級縫隙直接影響器件密封性能與流體操控精度，精準表征二者特性是優化封裝工藝的關鍵。白光干涉測量技術具有非接觸、納米級分辨率的優...

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