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05

2026

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09

芯片 刻蝕形貌 (Etching Morphology)表...

半導體精密微加工（Precision Micro Machining）干法刻蝕（Dry Etching）制程中，芯片刻蝕形貌（Etching Morphology...

04

2026

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09

半導體領域激光共聚焦拼接測量失真問題及替代方案

激光共聚焦顯微鏡（Laser Confocal Microscope, LCM）高倍物鏡單幀視場（Field of View, FOV）狹小，半導體大尺寸晶圓、封...

04

2026

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09

冶金高溫煙氣/熱風閥密封面平面度的光學輪廓測量研究

冶金熱風閥（Metallurgical hot air valve）是高爐高溫煙氣循環系統的核心密封構件，其密封面平面度（sealing surface flat...

03

2026

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09

骨植入體表面微觀缺陷過多白光干涉儀嚴控醫用安全品質

骨植入體（Bone Implant）在拋光、蝕刻與精加工量產過程中，易產生凹坑、微劃痕、局部凸起及孔隙殘瑕等表面微觀缺陷（Micro Defect）。此類納米、微...

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